雙電測(cè)四探針測(cè)試儀 雙電測(cè)四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)

型DL10-9型雙電測(cè)四探針測(cè)試儀采用了四探針雙電測(cè)組合（亦稱(chēng)雙位組合）測(cè)量新技術(shù),將范德堡測(cè)量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換，在計(jì)算機(jī)控制下進(jìn)行兩次電測(cè)量，能自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。因而每次測(cè)量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測(cè)量都是對(duì)幾何因素的影響進(jìn)行動(dòng)態(tài)的自動(dòng)修正，因此顯著降低了幾何因素影響，從而提高了測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確度。所有這些，用目前大量使用的常規(guī)四探針測(cè)量方法所生產(chǎn)的儀器是無(wú)法實(shí)現(xiàn)的。

DL10-9雙電測(cè)四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測(cè)試界面的用戶(hù)程序。測(cè)試程序在計(jì)算機(jī)與DL10-RTS-9型四探針測(cè)試儀連接的狀態(tài)下，通過(guò)計(jì)算機(jī)的并口實(shí)現(xiàn)通訊。

測(cè)試程序控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并實(shí)時(shí)采集兩次組合模式下的測(cè)試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析，然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來(lái)。用戶(hù)可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶(hù)對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析

技　術(shù)　指　標(biāo)：

測(cè)量范圍電阻率：10-4～105Ω.cm（可擴(kuò)展）；

方塊電阻：10-3～106Ω/□（可擴(kuò)展）；

電導(dǎo)率：10-5～104s/cm；

電阻：10-4～105Ω；

可測(cè)晶片厚度≤3mm

可測(cè)晶片直徑140mmX150mm（配S-2A型測(cè)試臺(tái)）；

200mmX200mm（配S-2B型測(cè)試臺(tái)）；

400mmX500mm（配S-2C型測(cè)試臺(tái)）；

恒流源電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　

分辨力：10μV；

輸入阻抗：>1000MΩ；

精度：±0.1%；

顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動(dòng)顯示；

四探針探頭基本指標(biāo)間距：1±0.01mm；

針間絕緣電阻：≥1000MΩ；

機(jī)械游移率：≤0.3%；

探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；

探針壓力：5～16牛頓（總力）；

四探針探頭應(yīng)用參數(shù)（見(jiàn)探頭附帶的合格證）

模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差

（按JJG508-87進(jìn)行）0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字

整機(jī)測(cè)量zui大相對(duì)誤差（用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測(cè)試）≤±4%

整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度≤4%

計(jì)算機(jī)通訊接口并口

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境溫度：23±2℃；

相對(duì)濕度：≤65%；

無(wú)高頻干擾；

無(wú)強(qiáng)光直射；

北京北信科儀分析儀器有限公司

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：李

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